研微半导体科技有限公司

研微半导体科技有限公司（PSR Semi）是一家专注于高端半导体薄膜沉积设备研发、制造与销售的高新技术企业。公司核心产品线涵盖热原子层沉积（tALD）、等离子体增强原子层沉积（PEALD）、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、硅/锗外延（Si/Ge EPI）、碳化硅外延（SiC EPI）以及原子层刻蚀（ALE）等关键工艺设备。

其设备广泛应用于逻辑芯片、存储芯片（DRAM/NAND）、图像传感器（CIS）、先进封装、功率器件（如SiC）、射频元件及微机电系统（MEMS）等高端制造领域。公司致力于提供具有自主知识产权、性能对标国际水平的半导体前道制程装备，助力中国半导体产业链的自主可控与技术进步。