RELX Group – 基于信息的分析与决策工具
RELX(励讯集团)是一家全球领先的信息和分析提供商,通过专业数据、分析工具和决策解决方案,服务于科学、医疗、法律和风险等领域的专业人士与机构。
研微半导体科技有限公司(PSR Semi)是一家专注于高端半导体薄膜沉积设备研发、制造与销售的高新技术企业。公司核心产品线涵盖热原子层沉积(tALD)、等离子体增强原子层沉积(PEALD)、等离子体增强化学气相沉积(PECVD)、硅/锗外延(Si/Ge EPI)、碳化硅外延(SiC EPI)以及原子层刻蚀(ALE)等关键工艺设备。
其设备广泛应用于逻辑芯片、存储芯片(DRAM/NAND)、图像传感器(CIS)、先进封装、功率器件(如SiC)、射频元件及微机电系统(MEMS)等高端制造领域。公司致力于提供具有自主知识产权、性能对标国际水平的半导体前道制程装备,助力中国半导体产业链的自主可控与技术进步。